M0/M1测量状态，代表什么？在GRACoL工艺中如何选择M测量条件？新的测量条件需要在合适的条件下进行选择，当使用有荧光增白剂的材料时候，M1是一个很不错的选择。但是目前很多的流程不支持M1测量支持，GRACoL的特性数据也是基于M0进行测定，所以给予一下的一些建议：