GRACoL委员会对M1测量条件的实践测试

M0/M1测量状态,代表什么?在GRACoL工艺中如何选择M测量条件?新的测量条件需要在合适的条件下进行选择,当使用有荧光增白剂的材料时候,M1是一个很不错的选择。但是目前很多的流程不支持M1测量支持,GRACoL的特性数据也是基于M0进行测定,所以给予一下的一些建议: